LPMS CVD05
緊湊(còu)型側式真空氣相沉積設備
真空氣相沉積設備是一種用於電子產品防水保護的鍍膜設備(bèi)。工作時把含有構(gòu)成薄膜元素的化合(hé)物(長鏈(liàn)性高(gāo)分子(zǐ)材料,一般為派瑞林Parylene)、單(dān)質(zhì)氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真(zhēn)空反應室(shì),借(jiè)助空間氣(qì)相化(huà)學反應, 在產品表麵上沉積生(shēng)成0.1-100um的厚度均勻,無應力、優異的電絕緣(yuán)性(xìng)和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料薄膜塗層
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