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CVD Chemical Vapor Deposition CVD真空氣相鍍膜
CVD真空氣相鍍膜
CVD真空氣相沉（chén）積技術工藝原理（lǐ）

       真空化學氣相沉積工藝(Chemical Vapor Deposition,英文簡稱CVD), 俗稱：真空氣相（xiàng）鍍膜，納米鍍膜或派瑞林鍍膜。是一種把含有構成薄膜元（yuán）素（sù）的長鏈性高分子材料（派瑞（ruì）林Parylene等）、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產（chǎn）品的真空反應室，借助空間氣相化學反應並在產品表（biǎo）麵上沉積生成的0.1-100um薄膜塗層的工藝技術。薄膜塗（tú）層厚度均（jun1）勻（yún），緻密無針孔（kǒng）、透明無應（yīng）力、不含助劑、不損傷產品、有優異的電絕緣性和防護性，是當代最有效的防潮、防（fáng）黴、防腐、防鹽霧塗層材料。     

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CVD派瑞林真空（kōng）氣相鍍（dù）膜流程（chéng）

隨著（zhe）時代的發展，電子產品技術的不斷革新。高（gāo）新技術（shù）與智能化的發展，精密的（de）電子設（shè）備元件需要適應（yīng）各種惡劣的工作環（huán）境，達到工業對（duì）其更高的（de）要求：高可靠，小型化，抗幹擾等等。因此，電子零部件的環境適應性和防護力就成了重中之重。

LPMS為適應現有市場需求, 通過開發創新，成（chéng）功的將派瑞林鍍膜技術運用到電子產品行（háng）業（yè）。我們在材料、工藝和設（shè）備方麵的專有技術使我們能夠為客戶帶來高質（zhì）量的超薄與納米級保（bǎo）形塗層，其成就在行業（yè）得到認可。

CVD真空氣相沉積工藝特點
             

  • 生物相容性(用於各種（zhǒng）植入物和其他醫療器（qì）械)，符合FDA（ClassVI）. 符合美軍標MIL I-46058C。


  • 納米（mǐ）塗層滲透力強，360度無（wú）死角，可（kě）滲入SMD器（qì）件底部（bù），全方（fāng）位覆蓋PCB和電子元件器，塗層（céng）完整、連續、無針孔、厚度均勻（yún）。


  • 具有高介電強度和低介電常（cháng）數，超薄的（de）絕緣層，能（néng）耐（nài）高電壓。 


  • 室溫下生成納米鍍膜（mó）層，對塗覆敏感部件沒有熱應力（lì）。 


  • 疏水薄膜，表麵能量低，良好的幹膜潤（rùn）滑性。 

             

  • 高度共形 - 可在尖角上覆膜並穿（chuān）透小毛孔（kǒng），不會形成彎月麵，也不（bú）會聚集或遮擋（dǎng）精（jīng）細的圖（tú）形。


  • 塗層化學惰性（xìng）（無反應（yīng）性），具（jù）有很高的耐化學性（xìng）（酸堿鹽，溶劑）及極端（duān）的耐高低溫性（-60°C至200°C）

 

  • 透氣性非常低，不含針（zhēn）孔，防潮（cháo）防水性（xìng）（可達IP68)。


  • 抗輻（fú）射，可用於（yú）航（háng）空航太及γ射線和電子束滅菌。 

 

  • 光學透明（míng），無色。可用（yòng）於上光學（xué）元件和照明無件（jiàn）。

塗層可以承受（shòu）極端高低溫
-60℃ 0℃ 60℃ 120℃ 180℃
-60～200℃
塗層可以（yǐ）承受極端高低溫（-60°C至200°C）
CVD真空氣相沉積與（yǔ）三防漆工（gōng）藝對（duì）比

CVD（派瑞林 paerylene真空鍍膜）真空氣相沉積工藝鍍膜後（hòu）產品表麵化學純度高，鍍膜均勻，無（wú）小孔，無氣泡，不會脫落（luò），無熱應力。

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我（wǒ）們能為您做（zuò）什麼？

針對客戶（hù）具（jù）體專案，進行專案（àn）評估、提供專業可行的CVD（派瑞林 paerylene真空（kōng）鍍膜 )真空氣（qì）相沉積工藝解決方案，以及納（nà）米塗（tú）層加工服務(打樣測試或（huò）大批量加工生產)。

根據客戶技術要求提（tí）供CVD（派瑞林 paerylene真空鍍膜 )真空氣相沉積工藝所需的派瑞林粉體（tǐ），並給（gěi）於專業的技術指導（dǎo）；

為有需要的客（kè）戶提供有針對性設計的CVD（派瑞林 paerylene真空鍍膜 )真空氣相沉積工藝設備（bèi）（真（zhēn）空氣相沉積（jī）鍍（dù）膜機、真空（kōng）脫氣爐等相關設備）。

CVD真空氣相沉積工藝應用

       CVD（派瑞林Parylene真空（kōng）鍍（dù）膜）廣泛用於航空航天、電路板、LED 、磁性材料、感測器、矽橡膠、密封件、醫（yī）療器械、珍（zhēn）貴文物等領域。派瑞林（lín）真空鍍膜後的電子產品具有（yǒu）極高的絕緣強（qiáng）度和耐高低溫(-60至200度)、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮（cháo）、防銹、透明（míng）、防（fáng）水(最高可達IP68)、抗老化、生物（wù）相容性等（děng）作用。

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CVD真空氣相設備
我們專業設計、製造和（hé）銷（xiāo）售各種類型和規格的CVD真空鍍模設備，如真空氣相沉積塗層機(派瑞林鍍膜機)、真（zhēn）空脫氣爐等。
CVD真空（kōng）氣（qì）相沉積產品代加工（gōng）

     LPMS擁用標準的真空氣相鍍膜車間和10多（duō）臺CVD真空氣相鍍膜設備，可為客（kè）戶提供CVD真空氣相沉積納米級塗（tú）層的打樣測試或大批量（liàng）生產（chǎn）代加工服務。同時也（yě）可提供包括產品的從SMT表麵黏著、DIP插件、無鉛製程、焊接加工、低壓注塑/點膠、真空氣相鍍膜、產品測（cè）試、成品包裝的全程代工（gōng）代料服務，亦也可為客戶提供新產品開發服務。

真空氣相沉積材料

       CVD真（zhēn）空氣相沉積工藝所使用的是一種保護性長鏈性高分子（zǐ）材料（liào）(中文名：派瑞林、聚對二甲苯、英文名：Parylene)，它可在真空下氣相沉積（jī），活性（xìng）分（fèn）子的良好穿（chuān）透力能在元件內（nà）部、底部，周圍形成（chéng）無針孔，並厚度均勻（yún）的透明絕緣塗層，給元件提供了一個完整的優質防護塗層，抵禦酸堿、鹽霧、黴菌及各種腐蝕性氣件的侵害，因為所（suǒ）使用的不是液體，所以塗敷過程中不（bú）會（huì）聚集，橋接（jiē）式形成（chéng）彎月麵。

      Parylene派瑞林高分子材料根據分子結構可分為： N、C、 D、F、HT等多種 類型。我們可根據客戶（hù）技術（shù）要求與產品提（tí）供CVD真空氣相沉積工藝所需的派瑞林粉體與原料，並給於專業的技術指導。

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派瑞林牌號

成膜特性

CAT

N粉

CAT

C粉

CAT

D粉

CAT

F(VT4)粉

CAT

AF4(HT)粉

密度（gm/cc)

1.1

1.3

1.41

1.55

1.5

介電常數（1Mhz)

2.6

2.9

2.8

2.3

2.2

介電（diàn）強度（V/Mil)

7000

5600

5500

5000

7000

最低持續工作溫度(空氣中）

-60°C

-60°C

-60°C

-60°C

-60°C

最高持續工作溫度(空氣中）

60°C

80°C

110°C

200°C

300°C

摩擦係數-動態（tài）

0.25

0.29

0.38

0.39

0.16

線性膨脹係數(ppm at 25°C)

69

35

38

45

34

吸水性（24H後）

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

<% 0.1

水蒸氣透過率（lǜ）(gm.mm)/m2.day)

0.6

0.08-0.1

0.1

0.25-0.32

0.2

氧氣（qì）穿透率(cc.mm)/(m2.day.atm)

16

3

12.0-13.5

16.8

25.3

視頻
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