真空氣相沉積設備是一種用於電子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成（chéng）薄膜元素的（de）化合物（長鏈性高（gāo）分子材料（liào），一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經過（guò）升華、熱解後進入放置產品的真空（kōng）反（fǎn）應室（shì），借助空間氣相化學反應, 在產品表麵上沉積生成0.1-100um的厚度均（jun1）勻（yún），無應力、優異的（de）電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗（tú）層材料薄膜塗層。

真空氣相沉積（jī）設（shè）備是一種用於電（diàn）子產品防水保護的鍍膜設備。工（gōng）作時把含有構成薄膜元素的化合（hé）物（長（zhǎng）鏈性高分子（zǐ）材料，一般為派瑞林（lín）Parylene）、單質氣體經過升華、熱解後（hòu）進入放置產（chǎn）品的真（zhēn）空反應室，借（jiè）助空間氣相化學反應（yīng）, 在產品表麵上沉積生成0.1-100um的厚度均（jun1）勻，無應力、優異的電絕（jué）緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧塗層材料薄膜塗（tú）層。